Solusi Kontrol Otomasi untuk Peralatan Lapisan Semikonduktor
Solusi Kontrol Otomasi untuk Peralatan Lapisan Semikonduktor
Latar belakang kasus:
Dalam industri semikonduktor, mesin pelapis sangat penting dalam proses fotolitografi, bertanggung jawab untuk menerapkan fotoresist atau bahan fungsional lainnya pada wafer atau substrat.Menggunakan metode lapisan spin atau lapisan semprotan, mesin ini membentuk film tipis yang seragam dan stabil untuk memastikan akurasi pola. peralatan pelapis canggih dilengkapi dengan kontrol ketebalan yang tepat, kinerja seragam yang sangat baik,dan sistem posisi presisi tinggiMereka sering dilengkapi dengan lengan pemuatan/pengungkapan otomatis dan sistem kontrol umpan balik real-time untuk meningkatkan efisiensi produksi dan memastikan kualitas pelapis yang konsisten.
Solusi:
-
Kontroler utama:OMRON PLC
-
Proses yang berlaku:Lapisan
-
Konfigurasi I/O Proyek:MTC-EEC-A-2-A16-L-10-08-S-D + MTC-200H-D*2
-
Penggunaan tahunan:1 juta set
Dalam proyek ini, pelanggan mengintegrasikan OMRON PLC dengan produk pulau katup MTC Decowell untuk membangun sistem kontrol pneumatik yang kompak dan efisien untuk peralatan pelapis.Solenoid katup drive silinder untuk secara tepat mengontrol gerakan vertikal dan horisontal nozzle semprotSilinder tambahan menggerakkan lengan pengisian dan pengungkapan otomatis, yang mengangkut substrat antara pelapis dan sistem konveyor.
Sistem ini menggabungkan modul I/O di dalam pulau katup, memungkinkan koneksi mudah dari sensor posisi dan saklar magnetik.Dengan arsitektur modular, sistem ini menawarkan skalabilitas dan fleksibilitas yang sangat baik untuk memenuhi konfigurasi peralatan yang berbeda.
Keuntungan Aplikasi:
-
Integrasi yang tinggi mengurangi kabel dan menghemat ruang panel
-
Modul I/O yang dapat diperluas untuk peningkatan sistem di masa depan
-
Kontrol gerakan yang akurat untuk nozzle semprot dan tangan penanganan
-
Kinerja yang stabil dan efisien yang cocok untuk produksi bervolume besar